“耐心资本”助推第三代半导体产业突围

在芯片制造过程中，离子注入工艺是仅次于光刻工艺的重要环节，它研发难度大、成本高。鲁信创投以“耐心资本”陪伴企业攻克核心技术，引导企业总部落地山东，首次实现离子注入机“山东造”。

前不久 ，在济南高新区艾恩半导体，首台山东造离子注入机组装完成。这台大家伙每次的离子注入都像是给芯片注射，精准控制电路功能，纳米级的雕刻精度让芯片会算数、能指挥。

“没有离子注入机，第三代半导体产业无从谈起。”艾恩（山东）半导体科技有限公司总经理钟新华感慨，“目前我们自主研发的一套硅离子注入机已经进入了小批量生产阶段。大概在今年6月份会有一款中束流离子注入机面向市场。”

2023年初，钟新华团队在广州创业时遭遇资金“拦路虎”，一台设备需要近两万个零件，资金缺口高达数千万元。作为轻资产科创企业，传统融资渠道几乎不可能向他们敞开大门。就在此时，专注硬科技投资的鲁信创投发现了这支“潜力股”。

徐霄龙是鲁信创投旗舰基金管理部副总经理，他向记者说到当时的情景：“我们接触的时候，他核心团队成员明确的只有两位。经过我们详细调研，认为这个团队具备20年以上的研发和产业化的经验，是有极大可能能够实现设备产业化的。”

于是，鲁信创投果断出手，两轮天使基金为企业带来了及时雨，艾恩半导体技术攻关全面提速，首款离子注入机研发成功，第二代机型也将于今年9月面世，性能对标国际龙头。但光有技术突破还不够，要真正量产落地，得靠产业链搭把手。鲁信创投党委副书记、总经理葛效宏介绍道，“积极导入产业链上下游、战略投资者等各类资源，山东是制造业强省，离子注入机所需要的近两万个零部件，过半可以在山东本地配套，同时也存在广泛的下游潜在客户资源。”

在鲁信创投的牵线下，艾恩半导体与毅达资本、源禾资本、济南财投基金集团等达成股权合作。强力的资金支持和丰富的地域资源也让企业决定将总部迁至济南。艾恩（山东）半导体科技有限公司副总经理李更兰充满信心：“我们定了一个目标，要在三年内将离子注入机所有机型全系列覆盖，并且性能达到国际领先水平。”

从攻克一台设备，到打通一条产业链，鲁信创投作为鲁信集团旗下从事创业投资业务的核心板块，90%以上资金投向硬科技领域，用“耐心资本”投资培育了一批高端装备制造、生命科学、新材料、航空航天等领域的行业龙头企业。

鲁信创投党委书记、董事长王旭冬介绍：“持续聚焦国家战略性新兴产业与未来产业，坚持投早、投小、投长期、投硬科技，既耐心陪伴科技型创业公司成长发展，点亮创新火种，又全力推动标志性产业补链延链强链，锻造产业脊梁。”（来源 闪电新闻，记者 张聪）